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等離子清洗技術是利用等離子體內的高能粒子的活化作用,使得工件表面的待清洗層上的有機物、氧化物等污垢以及各種粒子發生一系列的物理化學反應,從而從清洗表面脫落或蒸發,從而達到清洗的作用。
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